近日,哈爾濱工業(yè)大學航天學院馬欲飛教授課題組實現(xiàn)基于新型音叉的石英增強光譜高靈敏度氣體檢測。相關(guān)研究成果發(fā)表于科技期刊《應用物理評論》(Applied Physics Reviews)并被期刊選為特色論文。
石英光譜氣體傳感技術(shù)是一種以石英音叉為探測元件的激光吸收光譜式氣體傳感技術(shù),在環(huán)境監(jiān)測、火災預警、醫(yī)學診斷等領(lǐng)域中具有重要的應用價值。石英音叉作為傳感器系統(tǒng)中的核心探測單元對系統(tǒng)的檢測性能起到?jīng)Q定性的作用。為了進一步提升石英增強光譜氣體傳感系統(tǒng)的檢測性能,馬欲飛教授課題組從傳感器系統(tǒng)的核心探測單元-石英音叉出發(fā),設計了一款新型錐形叉指石英音叉,優(yōu)化了叉指的應力分布并且使其結(jié)構(gòu)更利于濕法刻蝕加工。依據(jù)傳感器系統(tǒng)的濃度測量結(jié)果,證明了該系統(tǒng)具有優(yōu)異的濃度線性響應。